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【兆恒機(jī)械】生產(chǎn)多晶硅片級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈的工藝流程

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  • 添加日期:2021年07月16日

      多晶硅硅錠

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                多晶硅硅片

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                單晶硅硅棒

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              單晶硅硅片

  目前晶體硅太陽電池硅片分為單晶硅硅片和多晶硅硅片。

  單晶硅片主要是125mm×125mm;

  多晶硅片主要是125mm×125mm和156mm×156mm兩種規(guī)格。

  外觀區(qū)別

  多晶硅硅片相對(duì)于單晶硅硅片,,有明顯的多晶特性,表面有一個(gè)個(gè)晶粒形狀,,而單晶硅硅片表面顏色均勻一致,。

  單晶硅硅片因?yàn)槭褂霉璋粼颍慕怯袌A形大倒角,,而多晶硅硅片一般采用小倒角,。

  生產(chǎn)方法

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  工藝—清洗硅料

  除去硅料表面的石英、金屬離子等,,先使用堿液去除石英等,,再使用酸混合液酸洗,在用去離子水沖洗液浸泡至中性,,最后烘干分類存放,。

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  設(shè)備、工模具:硅料清洗機(jī),、裝硅料的花籃,、溫度計(jì)、PH測(cè)量計(jì),、電阻率測(cè)量?jī)x,、量杯、電子秤,、防護(hù)服等,。

  材料:硅料、NaOH,、HF,、HCL,、去離子水。

  工藝—裝料

  裝料前需對(duì)坩堝進(jìn)行坩堝噴涂,、坩堝燒結(jié)處理,,在坩堝內(nèi)表面形成均勻厚度的氮化硅。為避免硅料與坩堝接觸污染硅錠,。

  裝料時(shí)按照坩堝底大塊硅料,、上面細(xì)硅料的原則,硅料縫隙間用細(xì)小硅料填充,。

  坩堝噴涂燒結(jié)設(shè)備,、工模具、材料:坩堝噴涂站,、坩堝燒結(jié)爐,、恒溫箱、紅外測(cè)溫槍,、防護(hù)服,、電動(dòng)吸等;石英坩堝,、氮化硅粉,、純水、壓縮空氣

  裝料設(shè)備,、工模具,、材料:硅錠運(yùn)轉(zhuǎn)車、石墨護(hù)板,、防護(hù)服,、電子秤、工業(yè)吸塵器,;石英坩堝,、硅料、硼母合金,。

  工藝—鑄錠

  在上面工藝流程中的熔化,、定向生長(zhǎng)、冷卻凝固,、硅錠出爐都是在鑄錠爐內(nèi)完成,。生成完整的多晶硅錠。我公司使用的鑄錠爐原理方法是上面介紹的“熱交換法及布里曼法”,。

  設(shè)備,、工模具:定向凝固爐(DSS)、裝卸料電瓶車、工業(yè)吸塵器,、耐高溫手套,、硅錠轉(zhuǎn)運(yùn)車等,。

  材料:真空油脂,、氬氣、壓縮空氣

  鑄錠爐

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  工藝—破錠

  將硅錠切割成一定尺寸的硅塊,,去除硅錠四周邊皮料,,再對(duì)硅塊四角輪流進(jìn)行倒角,最后去頭尾,。邊皮料,、頭尾料中含有較高的碳、氧,、金屬雜質(zhì)等,,嚴(yán)重影響硅片性能。

  設(shè)備,、工模具:多線切割剖錠機(jī),、倒角機(jī)、數(shù)控金剛石帶鋸床,、防護(hù)服,、吊車

  材料:粘接劑、鋼線,、砂漿,、金剛石帶鋸

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  工藝—多線切割

  將處理好的硅塊進(jìn)行粘接、切割,,切割成設(shè)定厚度的硅片,。目前硅片厚度一般為180um和200um。粘接時(shí),,對(duì)硅塊粘接面,、金屬模板、玻璃進(jìn)行清洗,,使用粘接劑粘接在一起,。

  設(shè)備、工模具:超聲波清洗機(jī),、多線切割機(jī),、電瓶堆垛車、吹風(fēng)機(jī),、鏟刀,、電子秤等

  材料:硅塊、粘接劑,、卷紙,、酒精,、鋼線、砂漿等

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  工藝—硅片清洗

  在硅片清洗前,,對(duì)切割后的硅片進(jìn)行預(yù)清洗,,將硅片從模板上清洗下來。硅片清洗使用清洗劑,、醋酸,、純水清洗,去除粘接劑和各種表面雜質(zhì),,得到清潔的硅片,。

  設(shè)備、工模具,、材料:硅片預(yù)清洗設(shè)備,、硅片清洗機(jī)、清洗劑,、醋酸,、純水多晶硅片、硅片盒等,。

  工藝—包裝

  使用Manz硅片檢測(cè)設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行測(cè)試,、分選,測(cè)試出每片硅片的性能參數(shù),,根據(jù)性能分類,。測(cè)試數(shù)據(jù)包括厚度、電阻率,、少子壽命等,。相同分類的硅片包裝在一起。

  硅片性能參數(shù)

  1,、型號(hào)(P型和N型,,P型多晶硅是摻B,N型多晶硅是摻P)

  2,、電阻率

  3,、少數(shù)載流子壽命

  4、硅片邊長(zhǎng)

  5,、對(duì)角線長(zhǎng)度

  6,、倒角

  7、厚度

  8,、總厚度變化