半導(dǎo)體是導(dǎo)電性介于導(dǎo)體(金屬)與絕緣體(陶瓷,、石頭)之間的物質(zhì),,包括硅,、鍺,。
利用半導(dǎo)體制作電子組件的目的在于:不像導(dǎo)體絕對(duì)導(dǎo)電,、絕緣體完全不導(dǎo)電;藉由注入雜質(zhì),,可以精準(zhǔn)地調(diào)整半導(dǎo)體的導(dǎo)電性,。由于硅擁有較大的能隙、可以有較大雜質(zhì)摻雜范圍,,所以可以被利用來制作重要的半導(dǎo)體電子組件晶體管 (Transistor),。
由于發(fā)明了晶體管,,這個(gè)年代成為人類科技文明進(jìn)步最快的年代,,電子技術(shù)與計(jì)算機(jī)工業(yè)才開始了長(zhǎng)足的發(fā)展,堪稱二十世紀(jì)最偉大的發(fā)明之一,。
發(fā)明晶體管的蕭克利 (Shockley),、巴丁 (Bardeen) 與布拉頓 (Brattain) 三位物理學(xué)家在1956年共同榮獲諾貝爾獎(jiǎng)。
1956年,,蕭克利在舊金山南方成立蕭克利半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室 (Shockley Semiconductor Lab),,帶動(dòng)美國(guó)硅谷 (Silicon Valley) 的蓬勃發(fā)展,硅谷一名稱系由半導(dǎo)體原料硅而來,。
講到硅谷的發(fā)展成因與歷史,,絕對(duì)不能不提蕭克利半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的影響。一個(gè)天才的創(chuàng)業(yè)會(huì)引來眾多天才的投奔,,因此當(dāng)時(shí)一堆優(yōu)秀人才趨之若鶩地跑到蕭克利的實(shí)驗(yàn)室來,;但后來因蕭克利暴躁又疑神疑鬼的性格,又紛紛辭職離去,被蕭克利怒稱為「八叛徒」(The Traitorous Eight),。
八位叛徒中,,包括了諾伊斯 (Noyce)、摩爾 (Moore,,就是摩爾定律的那個(gè)摩爾,!) 等人,他們隨后成立了快捷半導(dǎo)體 (Fairchild Semiconductor),,成為了第一家將硅晶體管商業(yè)化的公司,。
這家公司最重要不是它的產(chǎn)品、而是影響力——快捷可說是硅谷人才的搖籃,,創(chuàng)始人和員工出來開的公司和投資的公司在灣區(qū)超過 130家上市企業(yè),,里面包括了 Intel、AMD 等公司,,市值達(dá) 21 萬億美元,。對(duì)硅谷乃至當(dāng)今時(shí)代的科技發(fā)展都有著不可或缺的影響和作用。
好啦此為后話不提,,讓我們回來看看硅谷發(fā)展一切的源頭——晶體管到底是什么,。
晶體管的主要功能有兩個(gè):「放大信號(hào)」與「開關(guān)」。
晶體管就像是數(shù)字信號(hào)的「收音機(jī)」──收音機(jī)的原理是將微弱的信號(hào)放大,、用喇叭發(fā)聲出來,,晶體管能將信號(hào)的電流放大;而數(shù)字信號(hào)是由0與1組成,,1代表著電流「開」,、0代表著電流「關(guān)」,晶體管以每秒超過 1千億次的開關(guān)來運(yùn)作,,讓電流以特定方式通過,。
這邊讓我們來簡(jiǎn)單談?wù)劸w管的運(yùn)作原理。
晶體管由硅組成,,而硅是 4 顆電子,。在硅半導(dǎo)體中加入元素磷,具有 5 顆電子,、比硅多一顆電子(-)變成 N 型晶體管 (Negative),。
另外加入元素硼,具有 3 顆電子,、 比硅少一顆電子(-)變成 P 型晶體管 (Positive) ,。晶體管兩端可以通電,稱為「源極」和「汲極」,。
由于P型和N型分別多了電子和少了電子,,所以晶體管在 N 型和 P 型接起來的狀態(tài)下電子不會(huì)流通,,此時(shí)電流開關(guān)為「關(guān)」。
為了達(dá)到開關(guān)的效果,,我們使用第三個(gè)電極「閘極」(Gate) 取代機(jī)械按鈕開關(guān),;閘極間以氧化層和半導(dǎo)體隔絕。若我們?cè)陂l極上方施以正電電壓,,讓 N 型多出來的電子能夠重新流通,、并從源極流到汲極,此時(shí)電流開關(guān)為「開」,。
上述即為半導(dǎo)體組件晶體管如何藉由加入雜質(zhì)(磷,、硼)來控制導(dǎo)電性、進(jìn)而控制電流開關(guān)的原理,。
但是這數(shù)億個(gè)晶體管在哪里呢,?你可能正在心想:「我手機(jī)有大到能放進(jìn)數(shù)億個(gè)晶體管?」
答案是:晶體管是納米等級(jí),,比人體細(xì)胞還要小,。三星以及臺(tái)積電在先進(jìn)半導(dǎo)體制程的 14 納米與 16 納米之爭(zhēng),14 納米指的就是晶體管電流通道的寬度,。寬度越窄,、耗電量越低;然而原子的大小約為 0.1 納米,,14 納米的通道僅能供一百多顆原子通過,。故制作過程中只要有一顆原子缺陷、或者出現(xiàn)一絲雜質(zhì),,就會(huì)影響產(chǎn)品的良率,。
對(duì)于半導(dǎo)體大廠而言,制程是技術(shù),,但良率才是其中的關(guān)鍵Know-how,。一般能將良率維持在八成左右已經(jīng)是非常困難的事情了,臺(tái)積電與聯(lián)電的制程良率可以達(dá)到九成五以上,,可見臺(tái)灣晶圓代工的技術(shù)水平,。
事實(shí)上,,這數(shù)億個(gè)晶體管,,全部都塞在一個(gè)長(zhǎng)寬約半公分、指甲大小的芯片上,。這片芯片包含晶體管等電子組件,,就叫做「集成電路」(Integrated Circuit, IC),俗稱IC,。
所謂的大規(guī)模集成電路 (LSI, Large Scale Integration) 代表的不是這個(gè)電路板很大,,而是上面約一萬個(gè)晶體管,;超大規(guī)模集成電路 (VLSI, Very Large Scale Integration) 則約有十萬個(gè)晶體管。
在集成電路出現(xiàn)之前,,工業(yè)界必須各自生產(chǎn)晶體管、二極管,、電阻,、電容等電子組件,再把所有組件連接起來做成電路,,不但復(fù)雜又耗時(shí)費(fèi)工,。故若能直接依照設(shè)計(jì)圖做出一整個(gè)電路板,將能更加精確,、速度更快且成本更低,。
德州儀器公司的基爾比 (Jack St. Clair Kilby) 是第一個(gè)想到要把組件放到芯片上集體化的發(fā)明人,在1958年他試驗(yàn)成功,,開辟了一個(gè)嶄新的計(jì)算機(jī)技術(shù)時(shí)代,,甚至很多學(xué)者認(rèn)為由集成電路所帶來的數(shù)字革命是人類歷史中最重要的事件?;鶢柋纫惨虼擞?000年獲得諾貝爾物理獎(jiǎng),。
集成電路的制作過程分為以下步驟。
如同在蓋房子之前,,建筑設(shè)計(jì)師必須畫出設(shè)計(jì)圖,,規(guī)劃房間分布、使用材料,;在制作半導(dǎo)體芯片時(shí),,工程師會(huì)畫出電路圖 (Circuit Diagram),規(guī)劃一個(gè)芯片上應(yīng)該要具備的功能 (包括算術(shù)邏輯,、記憶功能,、 浮點(diǎn)運(yùn)算、 數(shù)據(jù)傳輸),、各個(gè)功能分布在芯片上的區(qū)域,,與制作所需的電子組件。
接下來,,工程師會(huì)使用硬件描述語言 (HDL) 將電路圖描寫出來,。
待確認(rèn)無誤后再將 HDL 程序代碼放入電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化工具 (EDA tool),讓計(jì)算機(jī)將程序代碼轉(zhuǎn)換成電路圖,。
設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)完房子后,,就需要將電路設(shè)計(jì)圖交由建筑工人將房子蓋出來。蓋房子需要地基,,制作芯片也要,,安置所有電子組件的基板就是「晶圓」(Wafer),。
首先,晶圓制造廠會(huì)將硅純化,、溶解成液態(tài),,再?gòu)闹欣鲋鶢畹墓杈е厦嬗幸桓褚桓竦墓杈Ц?,后續(xù)可供晶體管安置上去,。
也由于硅晶格的排列是安裝電子組件的關(guān)鍵,「拉晶」的步驟非常重要──晶柱的制作過程就像是在做棉花糖一樣,,一邊旋轉(zhuǎn)一邊成型,,旋轉(zhuǎn)拉起的速度以及溫度的控制都會(huì)影響到晶柱的質(zhì)量。
接下來,,晶圓廠會(huì)用鉆石刀像切火腿一般,,將一整條的晶柱切成一片片的薄片,再經(jīng)過拋光后,,就變成了「晶圓」(Wafer),,也就是芯片的基板;晶圓上面的晶格可供晶體管置入,。
晶圓(Wafer)上面的晶格可供晶體管置入,。
常聽到的8吋、12吋晶圓廠,,代表的就是硅晶柱切成薄片后的晶圓直徑,,而整塊晶圓可以再被切成一片片的裸晶 (Die);裸晶經(jīng)過封裝后,,才被稱為芯片 (Chip),、或稱 IC。
晶圓的尺寸,,可以決定后續(xù)裁切制作出來的芯片有多少數(shù)量,。
附注: AnySillicon網(wǎng)站上提供的計(jì)算器(Die Per Wafer Calculator)可供計(jì)算一塊晶圓上能切出多少裸晶。
如直徑8吋的晶圓片使用2.0微米的制程,,可以切出588顆64M的DRAM (內(nèi)存),;至于12吋的晶圓,可以切出的成品又更多,。
然而如先前所述,,硅純度、拉晶速度與溫度控制都是晶柱質(zhì)量的關(guān)鍵,,越粗的硅晶柱越難拉出好質(zhì)量,,故尺寸越大、技術(shù)難度就越高,,12吋晶圓廠也就比8吋晶圓廠的制程更先進(jìn),。
另外,雜質(zhì)對(duì)這些完美無缺的硅晶格構(gòu)成很大的威脅(想想看:晶體管比人體細(xì)胞還小,,稍有一絲雜質(zhì)變足以毀壞整個(gè)硅晶格了),,因此制造人員進(jìn)入無塵室前,都必須事先清洗身體,、穿戴防塵衣,、全副武裝采取預(yù)防措施。晶圓制造環(huán)境更比手術(shù)室干凈十萬倍,。
晶圓會(huì)在無塵的狀態(tài)下送到無塵室并分裝到密封的容器中,,進(jìn)行隨后的生產(chǎn)步驟。
我們?cè)谙惹疤岬?,集成電?(IC) 跨時(shí)代的意義在于,,工業(yè)界不用各自生產(chǎn)電子件再組建起來,可以一口氣將電路板依據(jù)電路圖生產(chǎn)出來,。這是怎么做到的呢,?
答案是:光學(xué)攝影技術(shù)。一大張的電路設(shè)計(jì)圖,,要縮小并壓印到硅晶圓(基板),,靠的就是光學(xué)原理。
首先光罩廠會(huì)將IC設(shè)計(jì)圖形第一次縮小,,以電子束刻在石英片上,,成為光罩。
光罩
由于電子束的寬度是1微米,,所以光罩上依據(jù)設(shè)計(jì)圖所刻出的半導(dǎo)體回路也是1微米寬,。接下來光罩廠會(huì)將完成的光罩送進(jìn)晶圓廠。
芯片制造,,也就是將光罩上刻的設(shè)計(jì)圖,、第二度縮小至晶圓上。與底片洗出相片的原理一樣,,「光罩」就是照相底片,、「晶圓」就是相片紙。
晶圓上面會(huì)事先涂上一層光阻 (相片感光材料),,透過紫外光的照射與凸透鏡聚光效果,、會(huì)將光罩上的電路結(jié)構(gòu)縮小并烙印在晶圓上,最后印在晶圓上的半導(dǎo)體回路會(huì)從光罩的 1 微米,、變?yōu)?0.1 微米,。陰影以外的部分會(huì)被紫外光破壞,隨后能被沖洗液洗掉,。
藉由光蝕刻與微影成像,,晶圓廠成功將設(shè)計(jì)圖轉(zhuǎn)印到微小的晶圓基板上,。如同底片質(zhì)量會(huì)影響照片成像的好壞,光罩上圖形的細(xì)致度是芯片質(zhì)量的關(guān)鍵,。
光刻制程結(jié)束后,,工程師會(huì)在晶圓上繼續(xù)加入離子。透過注入雜質(zhì)到硅的結(jié)構(gòu)中控制導(dǎo)電性,,與一連串的物理過程,,制造出晶體管。其過程相當(dāng)復(fù)雜,,甚至需要像兩個(gè)足球場(chǎng)大的無塵室,。
待晶圓上的晶體管、二極管等電子組件制作完成后,,工程師會(huì)將銅倒入溝槽中形成精細(xì)的接線,,將許多晶體管連結(jié)起來。在指甲大的空間里,,數(shù)公里長(zhǎng)的導(dǎo)線連接了數(shù)億個(gè)晶體管,,制作成大規(guī)模集成電路。至此,,偉大的建筑就完成了,。
晶圓完成后被送到封裝廠,會(huì)切割成一片片的「裸晶」,,如先前圖所示,。由于裸晶小而薄、非常容易刮傷,,故封裝廠會(huì)將裸晶安裝在導(dǎo)線架上,、在外面封裝上絕緣的塑料體或陶瓷外殼,剪下來印上委托制造公司的標(biāo)志,。最后進(jìn)行測(cè)試,,進(jìn)行芯片結(jié)構(gòu)及功能的確認(rèn)、將不良品挑出,,一顆芯片就大功告成了,!
1960年代集成電路的發(fā)明,,讓許多的半導(dǎo)體組件可以一次放在一塊芯片上,。隨著半導(dǎo)體的縮小,IC上可容納的晶體管數(shù)目,,約每隔兩年便會(huì)增加一倍,、性能每18個(gè)月能提升一倍 。
從1960年代不到10個(gè),1980年代增加到10萬個(gè),、1990年代增加到1000萬個(gè),。這個(gè)現(xiàn)象由英特爾的名譽(yù)董事長(zhǎng)摩爾所提出,稱為摩爾定律 (Moore’s Law),。如今,,集成電路上的組件高達(dá)數(shù)億至數(shù)十億個(gè),。
早期,,半導(dǎo)體公司多是從IC設(shè)計(jì)、制造,、封裝,、測(cè)試到銷售都一手包辦的整合組件制造商(Integrated Device Manufacturer, 俗稱IDM),如英特爾 (Intel),、德州儀器 (TI),、摩托羅拉(Motorola)、三星 (Samsung),、菲利普 (Philips),、東芝 (Toshiba),以及國(guó)內(nèi)的華邦,、旺宏,。
然而,由于摩爾定律的關(guān)系,,半導(dǎo)體芯片的設(shè)計(jì)和制作越來越復(fù)雜,、花費(fèi)越來越高,單獨(dú)一家半導(dǎo)體公司往往無法負(fù)擔(dān)從上游到下游的高額研發(fā)與制作費(fèi)用,,因此到了1980年代末期,,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸走向?qū)I(yè)分工的模式──有些公司專門設(shè)計(jì)、再交由其他公司做晶圓代工和封裝測(cè)試,。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在近數(shù)十年來的發(fā)展速度不只驚人,,許多重大的創(chuàng)新也支持了眾多其他產(chǎn)業(yè)也、產(chǎn)生了極大的影響,,可以說是數(shù)字時(shí)代之母,。毫無疑問地,在未來,,半導(dǎo)體的應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)規(guī)模,,將會(huì)比今日來的更加廣泛且舉足輕重。