零部件分類：
l模組件：分為EFEM（傳送模塊）,、傳送腔體、反應(yīng)腔體,，還有部署設(shè)備（氣柜,、電柜）、清洗組件,、冷卻組件（CM）,。
l零部件：
1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁,，用作腔體）,、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產(chǎn)品,，目前國產(chǎn)化率最高,。
2）非金屬件：陶瓷件、石英件,、石墨,。
3）氣柜：主要用世偉洛克的產(chǎn)品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC,、VAT的產(chǎn)品,。氣柜產(chǎn)品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的,，例如富士金,、VAT、UCT,。
4）儀表類：主要是流量計,，目前主要用SMC和日本津市的多一些。
5）射頻電源：主要用的MKS產(chǎn)品,。
6）閥門：主要用的VAT和SMC,，VAT的產(chǎn)品是用的最多的，國內(nèi)也是用這兩家多一些,。但是應(yīng)材的產(chǎn)品是自己定制的,，不采用現(xiàn)有的模塊。
7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華,，愛德華用的是最多的,。
8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產(chǎn)品，MKS,、VAT,、UCT,、富士金。
國產(chǎn)化進(jìn)度：目前不論是國內(nèi)還是國外設(shè)備廠商都是用的上面這些廠商的產(chǎn)品,，很少用國內(nèi)沒有認(rèn)證的零部件產(chǎn)品,。除了金屬加工件這種常見的產(chǎn)品外，其他的氣體管路,、氣柜,、儀表、電源,、閥門,、泵之類的，都是用的國際大品牌,。
東莞兆恒機(jī)械擁有超過18年的精密零件制造經(jīng)驗,，持續(xù)為國內(nèi)外眾多半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)制造過無數(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備高精密零部件，兆恒基于年均20年的多國籍技術(shù)管理團(tuán)隊和高端的進(jìn)口硬件設(shè)備群,，及執(zhí)行嚴(yán)謹(jǐn)?shù)馁|(zhì)量管理系統(tǒng)得以保駕護(hù)航,，受到客戶持續(xù)的信賴和好評，如果您有相應(yīng)的零件需要制造,，歡迎來圖定制,！
版權(quán)聲明：兆恒機(jī)械倡導(dǎo)尊重與保護(hù)知識產(chǎn)權(quán)，文章版權(quán)歸原作者及原出處所有,。文章系作者個人觀點,，不代表兆恒機(jī)械的立場，轉(zhuǎn)載請聯(lián)系原作者及原出處獲取授權(quán),如發(fā)現(xiàn)本網(wǎng)站內(nèi)容存在版權(quán)或其它問題,，煩請聯(lián)系我們溝通處理,。 聯(lián)系方式： [email protected]