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【兆恒機械】半導體行業(yè)用的膠膜類產(chǎn)品

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  • 添加日期:2022年04月06日

1)硅片研磨的UV減粘膠帶BG tape

這個應用是原料的硅錠切割成硅片以后,表面有些鋸痕破損等,,需要進行研磨拋光等處理,。

這過程中需要用到BG tape,,Back grindingtape。

首先,,這個厚度公差正負1um,,已經(jīng)把幾乎所有的膠帶廠商擋在了門外,膠的涂布使用一些精密的涂布機可以達到,,但是搭配上那個膜,,就很難了,行業(yè)一般使用PO聚烯烴膜,,目前也是只有日本廠商能大量提供,,國內(nèi)在研發(fā)起步中;

其次,,膠是水性膠,,盡量不留殘膠,,即使有也很容易清洗去除,膠本身高潔凈無污染,;同時膠是UV減粘的效果,,在原始狀態(tài)下具有不錯的粘結力,但是經(jīng)過UV光照射后,,變成極低的粘性,,非常容易和硅片分離。

再次,,PO膜本身的除了厚度管控,,還要防靜電處理,保持柔軟性而便于貼合硅片無氣泡,,無離子析出等等,,也是很難做到。

2)晶圓減薄保護膠帶

在如臺積電等工廠完成晶圓后,,硅片上已經(jīng)有很多芯片電路了,。

如上圖,左邊是線路面,,右邊是背面,,這樣的產(chǎn)品,對于封裝來說,,還是偏厚了,,需要進行再減薄,更薄的產(chǎn)品,,利于將來芯片的散熱,,封裝后的芯片更加輕薄,也有更好的電性能,,所以在foundry廠出貨前或者芯片封裝廠封裝前,,需要將晶圓從背面進行減薄。

這類也是BG tape,,只是應用點不一樣,,產(chǎn)品結構也是類似。

簡單的工藝如下:

首先,,這個膠也是可以用UV減粘,,因為有些IC如存儲功能的,不能照射UV,,所以也有熱減粘或者其他方式的減粘,膠要接觸芯片,,肯定也是需要不留殘膠,,容易清潔等要求,。不同的晶圓尺寸,也有不同的粘度需求,,不同的表面,,還需要不同厚度的膠來解決表面段差情況。

其次基材也是有PO或者PVC,,都有要保持柔韌性,,PO膜貴一點,PVC便宜一點,,但是有增塑劑析出的問題需要改善,。

3)晶圓切割膠帶

Wafer晶圓經(jīng)過減薄以后,還是一整片的,,需要切割成一個個單個芯片chip,,這過程中需要使用UV Dicing tape,下圖是一個典型的dicing過程,。

將膠帶貼在wafer背面,,固定在機臺上,進行切割,,粘性需要一定的保證,,否則容易崩邊等不良,不留殘膠,,某些芯片也不可以使用UV光照,。

而基材也有很多學問,防靜電,,高的拉伸強度,,整體潔凈度較高,膜不容易掉屑,,因為刀輪會切入膜內(nèi)幾十個微米,,不能切斷或者切出大量碎屑。

4)QFN封裝膠帶

目前芯片封裝方式有很多,,甚至接近百種,,其中非常流行的一種方式叫QFN封裝,Quad Flat No-leads Package,,方形扁平無引腳封裝,。

而QFN封裝的工藝如下:

這過程中用到一種以PI聚酰亞胺為基材,丙烯酸酯為膠的一種單面膠帶,。

將QFN膠帶貼在引線框背面,,然后涂導電膠或者絕緣膠,固化后,打金線導體各個pad,,再用環(huán)氧樹脂灌封,,封裝結束后移除這個膠帶。

膠帶需要使用PI耐高溫的性能,,然后不能使用硅膠作為膠黏劑,,因為會引起硅污染,丙烯酸類膠耐高溫,,就有不小的挑戰(zhàn),,而且還要不留殘膠。

同時這個過程中,,用到的導電膠,,環(huán)氧樹脂等也是很獨特的材料,掌握在少數(shù)幾個國際巨頭手中,。

5)晶片粘結膠膜

將芯片固定在引線框架上或者粘接兩層wafer,,可以使用膠水,dieattach adhesive,,或者也可以使用熱敏型的DAF膠膜,,Die attach film,或者有導電的CDAF,。

6)芯片包裝的載蓋帶

芯片封裝結束后,,需要使用專門的載蓋帶包裝。